恒迈瑞专心于出产高质量4H-N碳化硅晶锭，并为激光冷切开设备激光冷剥离设备出产商供给6英寸导电型碳化硅晶锭。

  恒迈瑞专心于出产高质量4H-N碳化硅晶锭，并为激光冷切开设备激光冷剥离设备出产商供给6英寸导电型碳化硅晶锭。

  激光冷切开技能先用激光照耀晶锭构成脱落层，使碳化硅资料内部体积胀大，由此发生拉伸应力构成一层十分窄的微裂纹，然后经过聚合物冷却过程将微裂纹处理为一个主裂纹，终究将晶圆与剩下的晶锭分隔。

  该技能具有以下优势：1）每片晶圆总切断丢失小于100μm；2）SiC晶圆的良率进步90%；3）该技能大幅度削减了SiC晶圆出产的悉数过程中的原资料损耗，可以给我们供给3倍的资料，终究SiC器材产能进步近2倍，本钱下降20-30%。以单个20mm的SiC晶锭为例，选用多线μｍ的晶圆，而选用冷切技能能将单片晶圆厚度削减到200μｍ，晶圆产值进步到超80片。

  主营产品：硅基氮化镓外延片，碳化硅基GaN外延片，碳化硅晶棒，碳化硅SiC切开片，碳化硅衬底晶片，碳化硅同质外延片，氮化镓衬底片