(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利说明书(10)申请公布号CN102725443A(43)申请公布日2012-10-10(21)申请号CN7.4(22)申请日2010-12-22(71)申请人圣戈班工业陶瓷罗登塔尔有限责任公司地址德国罗登塔尔(72)发明人(74)专利代理机构中国专利代理(香港)有限公司72001;中国专利代理(香港)有限公司72001代理人吕彩霞;杨思捷(51)Int.CIC30B11/00(2006.01)C30B23/06(2006.01)C30B35/00(2006.01)权利要求说明书说明书(54)发明名称氮化硅基坩埚(57)摘要本发明涉及一种可重复使用的含氮化硅坩埚以及该坩埚用于结晶硅的用途，该坩埚包括以下的至少一种：浓度＜19ppmw的硼(B)或含硼化合物；以及浓度＜3.7ppmw的磷(P)或含磷化合物。法律状态法律状态公告日法律状态信息法律状态2012-10-10公开公开【氮化硅基坩埚】本发明涉及一种可重复使用的含氮化硅坩埚以及该可重复使用的含氮化硅坩埚用于结晶硅的用途。熔融石英和石英坩埚(fusedsilicaquartzcrucible)是最常用的用于太阳能电池晶体硅锭生产的坩埚。这些坩埚只可以使用一次，因此导致高的生产所带来的成本。坩埚需要用来结晶硅，其能制造太阳能电池。含氮化硅坩埚的优点是，它们是可重复使用的，且具有降低太阳能电池生产所带来的成本的较高潜力。坩埚的可重复使用性也已得到证明。太阳能电池产生的电力在今天比常规电力贵得多。因此，对于太阳能产业很重要的是要降低太阳能电池的生产所带来的成本。一种新的可重复使用的氮化硅基坩埚可能有助于此。氮化硅基坩埚，不仅必须是可重复使用的，而且也能生产与标准熔融石英或石英坩埚相比更好的或相等的硅锭质量。本专利涉及在氮化硅基坩埚中生产的硅锭的质量。由专利NO317080可知一种用来产生可重复使用的氮化硅坩埚的方法。它使用一种由Elkem生产的称为Silgrain本发明的目的是提供用来生产太阳能电池及硅片的令人满意的晶锭质量。此外，本发明的目的是制备旨在取代标准熔融石英坩埚的可重复使用的氮化硅基坩埚。标准熔融石英坩埚在下文中作为参考标准。本发明提供了一种可重复使用的含氮化硅的结晶硅用坩埚，其中该坩埚包括下面的至少一种：浓度＜19ppmw的硼或含硼化合物；以及还包括下面的至少一种：浓度＜3.7ppmw的磷或含磷化合物。此外，本发明涉及氮化硅坩埚用于结晶硅的用途，该坩埚包括下面的至少一种：浓度＜19ppmw的硼(B)或含硼化合物；以及还包括浓度＜3.7ppmw的磷(P)或含磷化合物。制备含氮化硅的坩埚的通常原料是硅、碳化硅和氮化硅。购买到的这些原材料品质有不同，具有不一样数量的杂质。都会存在的元素是Al、Ca、Fe、Ti、B和P。主要由于杂质含量较低，高纯度的氮化硅基坩埚与标准熔融石英和石英坩埚相比将对晶锭有较少的污染。氮化硅基坩埚与熔融石英和石英坩埚相比也具有不一样的材料性能。它们主要含有氮化物杂质，高温不会软化。熔融石英和石英坩埚主要含有氧化物形式的杂质，这些坩埚高温会软化。坩埚总是涂覆有氮化硅粉，使得坩埚从来不与硅非间接接触。来自坩埚的任何污染，一定是从坩埚扩散并通过涂层。挥发性化合物可快速扩散。固体化合物必须根据比气体扩散慢得多的固-固扩散进行扩散。熔融石英和石英坩......完整内容请下载后查看

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